400 μΩ~40 m Ω의4 단자저저항 측정 기능을 표준 장비

인덱스 테이블 방식을 채용해, 토탈 throughput의 고속화를 실현

스텝& 리피트 검사 방식에 의해, 기판에 상냥하고, 파인핏치 기판에의 접촉 안정성 향상도 실현

니어 오픈이나 마이크로 쇼트등이 풍부한 검사 검출 기능도 표준 장비

원터치 연결기·유니버설 셔틀을 표준 장비해, 절차성의 향상을 실현